KI Illustration basierend auf echten Bildern der SIGA GmbH, Nachfüllsysteme.
Precursor Versorgungssysteme – Plattform G504
Die Precursor Versorgungssysteme G504 für Precursor dienen der sicheren Versorgung von CVD, PECVD und ALD Verdampfersystemen oder Flüssigdosiersystemen mit flüssigen Chemikalien wie Silanen, Chloriden und Metallalkylen wie SiCl4, TiCl4, SiHCl3, HMDSO, DEZ oder TMA.
Basierend auf unserer etablierten Plattform G504 bieten wir verschiedene Ausbaustufen von Precursor-Nachfüllsystemen an beginnend bei unseren Standardsystemen G504-010 für einen Precurser und G504-020 für zwei Precurser. Verschiedene Optionen zur Versorgung mehrer Anlagen sind möglich. Der Aufbau im feuerfesten Schrank erlaubt die Unterbringung in beliebigen Umgebungen nah am Verbrauchersystem.
- Precursor Versorgung mit Reinheit bis 100%
- Anwendungsorientiert und kundenspezifisch
- Kontinuierliche Versorgung dank mehrerer Gebinde
- Automatische Gebindeumschaltung
- Dauerhaft technisch dicht
- System G504-100 für einen Precurser Verdampfer
- System G504-200 für zwei Precurser Verdampfer
- In 8 Wochen lieferbar
- Wählen Sie unsere Standardsysteme für einen oder zwei Behälter
- Aufstellung direkt im Labor dank belüftetem Sicherheitsschrank Typ 90
Precursor Versorgungssystem
G504-100
für einen Precursor
Für weniger komplexe Systeme und Prozesse bietet unser kleines Nachfüllsystem eine effiziente, bauraumoptimierte und kostengünstige Version. Auch hier besteht die Möglichkeit durch die Nutzung von zwei Gebinden eine kontinuierliche Precursor Versorgung sicherzustellen.
- Hochrein dank UHP Komponenten
- Kundenspezifische adaptierbar
- Integrierte Spülroutinen für sicheren und langlebigen Betrieb
- Dauerhaft technisch dicht dank Faceseal Technologie
- Preis auf Anfrage
- Lieferzeit ca 10 Wochen
- Aufstellung direkt im Labor dank Sicherheitsschrank Typ 90
Unser Precursor Nachfüllsystem G504-010 erlaubt das Gebinde direkt auf einer Waage zu platzieren, um immer den Füllstand zu kennen. Die Fluidik ermöglicht das Spülen der Nachfüllleitungen, um den Benutzer und das System vor reaktiven Dämpfen bei Betrieb und Wartung zu Schützen.
Technische Daten Precursor Versorgungssystem G504-100 für einen Precurser
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Merkmal
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Daten System G504-100 für einen Precurser Verdampfer
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Dimensionen H; B; T (mm)
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1900; 600; 600
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Lieferrate
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150-200 ml/min
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Temperaturbereich (Betrieb oder Precursor Temp)
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20-75 °C
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Fassungsvermögen
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xx l
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Precursor Chemikalien
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Siliciumtetrachlorid (SiCl4), Titan(IV)-chlorid (TiCl4), Trichlorsilan (HSiCl3), Hexamethyldisiloxan HMDSO (C6H18OSi2), Trimethylaluminium TMA (C3H9Al), Diethylzink DEZ (C4H10Zn)
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Anschluss an eine N2 Spülleitung notwendig
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100 Nl/h und 2 bar ü
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Druckluftversorgung
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6 bar ü
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Anschlussspannung
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230 V
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Gehäuseabsaugung
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5 m³/h
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Ex-Schutz Klasse
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Content
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Dauerhaft technisch dicht dank Edelstahl-Verrohrung
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Typ 90 Sicherheitsschrank
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Eingangsfilter für N2
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Mit Umspülfunktion für den sicheren Gebindewechsel
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Precursor Versorgungssystem G504-200 für zwei Precursor
Unser Precursor Nachfüllsystem kann gleichzeitig mehrere Prozesskammern oder Einspeisepunkte versorgen. Dies geschieht entweder über parallele Leitungen oder über Verteilpunkte innerhalb einer Anlage. Das spart Bauraum und Komponenten, bei gleichzeitiger Steigerung der Prozesssicherheit. In dieser Konfiguration werden mehrere Gebinde empfohlen.
- Versorgung eines System aus mehreren Precursor Gebinden
- Hochrein dank UHP Komponenten
- Kundenspezifische adaptierbar
- Integrierte Spülroutinen für sicheren und langlebigen Betrieb
- Verschiedene Precursor Chemikalien dank unabhängiger Leitungen möglich
- Kontinuierliche Versorgung dank mehrerer Gebinde
- Automatische Gebindeumschaltung
- Dauerhaft technisch dicht dank Faceseal Technologie
- Preis auf Anfrage
- Lieferzeit ca 10 Wochen
- Aufstellung direkt im Labor dank Sicherheitsschrank Typ 90
Unser Precursor Versorgungssystem G504-200 ist in einem feuerfesten Schrank F90 aufgebaut und erlaubt damit die Aufstellung im Labor. Das System kann ein System mit zwei Precursorn versorgen.
Technische Daten Precursor Versorgungssystem G504-200 für zwei Precursor
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Merkmal
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Daten System G504-200 für zwei Precurser Verdampfer
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Dimensionen H; B; T (mm)
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1900; 600; 600
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Lieferrate
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150-200 ml/min
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Temperaturbereich (Betrieb oder Precursor Temp)
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20-75 °C
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Fassungsvermögen
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xx l
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Precursor Chemikalien
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Siliciumtetrachlorid (SiCl4), Titan(IV)-chlorid (TiCl4), Trichlorsilan (HSiCl3), Hexamethyldisiloxan HMDSO (C6H18OSi2), Trimethylaluminium TMA (C3H9Al), Diethylzink DEZ (C4H10Zn)
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Anschluss an eine N2 Spülleitung notwendig
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100 Nl/h und 2 bar ü
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Druckluftversorgung
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6 bar ü
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Anschlussspannung
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230 V
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Gehäuseabsaugung
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5 m³/h
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Ex-Schutz Klasse
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Content
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Dauerhaft technisch dicht dank Edelstahl-Verrohrung
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Typ 90 Sicherheitsschrank
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Eingangsfilter für N2
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Mit Umspülfunktion für den sicheren Gebindewechsel
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Technische Beschreibung
Precursor Versorgungssysteme dienen der sicheren Versorgung von Verbrauchern wie CVD / PECVD / ALD Verdampfersystemen oder Flüssigdosiersystemen, mit den dort eingesetzten flüssigen Chemikalien. Diese sind Silane, Chloride und Metallalkyle wie SiCl4, TiCl4, SiHCl3, HMDSO, DEZ oder TMA . Die Auslegung des Systems erfolgt anwendungsspezifisch und kann jeweils den besonderen Erfordernissen jeder Applikation angepasst werden.
Das Versorgungssystem kann für ein Gebinde ausgelegt werden oder um eine unterbrechungsfreie Versorgung zu erreichen für 2 Gebinde ausgerüstet werden. Es erfolgt eine automatische Umschaltung sobald das erste Gebinde leer ist.
Das Transportgefäß wird in einem Schrank aufgestellt und dort fest mit dem Rohrsystem verbunden. Die Ventile des Systems sind pneumatisch betätigt und werden von einer automatischem Ablaufsteuerung betätigt.
Wurde ein neues Transportgefäß eingebaut, so werden zunächst die Anschlussleitungen unter Druck gesetzt und einem Druckhaltetest unterzogen um den sicheren Anschluss des Gebindes zu bestätigen. Nachdem dieser Test bestanden wurde werden die Anschlussleitungen durch eine automatisierte Druckwechselspülung freigespült (Beaufschlagen der Leitungen mit N2 und anschießendes Evakuieren im Wechsel). Um das Freispülen zu erleichtern werden Membranventile eingesetzt. Danach erfolgt die Freigabe des neuen Fasses zur Versorgung der angeschlossenen Verbraucher.
Nachdem ein Transportgefäß geleert wurde wird zunächst der Precursor der sich noch in der Steigleitung befindet in das Transportgefäß zurück gedrückt. Die in diesem Leitungsabschnitt eingesetzten Ventile sind 3-Port-Ventile um Todräume zu vermeiden und damit das sichere Freispülen der Leitungen zu erleichtern. Anschließend werden alle Anschlussleitungen zu dem Transportgefäß durch eine automatisierte Druckwechselspülung freigespült.
Während der automatisch laufenden Spülsequenzen zum Fasswechsel müssen die Handventile des Transportgefäßes geöffnet und geschlossen werden. Die Anweisung dazu erhält der Bediener von dem Steuergerät.
Das Transportgefäß steht auf einer Waage, so kann immer der noch verbliebene Inhalt angezeigt werden. Ist das Gebinde nahezu geleert, wird der Bediener gewarnt, bei erreichen der untersten Füllmarke erfolgt eine erneute Meldung, bei Systemen mit 2 Transportgebinden erfolgt eine automatische Umschaltung auf das in Bereitschaft stehende Gefäß.
Als Gehäuse für das Nachfüllsystem kann ein Stahlblechgehäuse oder ein Sicherheitsschrank Typ 90 eingesetzt werden (Feuerwiderstandsfähigkeit 90 Minuten). Damit kann das System direkt in Labors und Arbeitsräumen aufgestellt werden. Die Schränke werden an die Absaugung angeschlossen und können gezielt mit Zuluft versorgt werden. Zur weiteren Erhöhung der Sicherheit kann das Versorgungssystem – je nach eingesetztem Precursor – mit einem Rauchmelder oder einem Gaswarnsensor ausgerüstet werden.
- Metallisch dichtend und lecksicher: Keine Elastomere in der Dampfstrecke, ausschließlich orbital verschweißte Edelstahlkomponenten (SS316L).
- Sicherheitsschrank Typ 90 lagert Gefahrenstoffe und bietet im Brandfall 90 Minuten lang Schutz vor dem Eindringen der Flammen. Dadurch darf ein Sicherheitsschrank Typ 90 direkt am Arbeitsplatz aufgestellt werden.
- Reduzierter Aufbauaufwand: Versorgung mehrerer Prozesspunkte aus einem Verdampfer spart Bauteile, Ventile, Steuerung und Platz.
