Precursor Verdampfer und Gassysteme für Forschung, Entwicklung und Produktion

Anspruchsvolle Systeme zur Handhabung von Gasen und Flüssigkeiten. Das ist SIGA.

Unser Spezialgebiet sind Precursor-Verdampfersysteme für CVD, PECVD und ALD Anlagen (TMA, DMZ, HMDS, HMDSN, TMDSO uvm).

Seit 30 Jahren kommen unsere Systeme in Entwicklung und Produktion zum Einsatz.

Wir bauen Serien- und Einzelsysteme für Industrie und Forschung basierend auf etablierten Standards und innovativen Lösungen.

Etablierte Technik, Kundenorientierte Systeme.

Genaue Dosierung, Mischung von Gasen und Verdampfen von Precursoren – individuell angepasst und prozesssicher basiert auf etablierter und innovativer Technik.

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Unsere Leistungen

Individuelle Systeme. Ganzheitliche Lösungen.

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Etablierte Technik, Kundenorientierte Systeme.

Systeme
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Lösungen, die wirklich passen basierend auf etablierten Standards

SIGA verbindet über 30 Jahre Erfahrung in der Gastechnik mit moderner Systementwicklung und hoher Qualität. Unsere Stärke liegt in der kundenspezifischen Auslegung basierend auf etablierten Standards – vom ersten Konzept bis zum betriebsbereiten System. Jedes Projekt hat seine eigene Herausforderung und erweitert unseren Baukasten so bleiben wir Innovativ.

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