KI Illustration basierend auf echten Bildern der SIGA GmbH, Nachfüllsysteme.
Precursor Versorgungssysteme – Plattform G504
Die Precursor Versorgungssysteme G504 für Precursor dienen der sicheren Versorgung von CVD, PECVD und ALD Verdampfersystemen oder Flüssigdosiersystemen mit flüssigen Chemikalien wie Silanen, Chloriden und Metallalkylen wie SiCl4, TiCl4, SiHCl3, HMDSO, DEZ oder TMA.
Basierend auf unserer etablierten Plattform G504 bieten wir verschiedene Ausbaustufen von Precursor-Nachfüllsystemen an beginnend bei unseren Standardsystemen G504-010 für einen Precurser und G504-020 für zwei Precurser. Verschiedene Optionen zur Versorgung mehrer Anlagen sind möglich. Der Aufbau im feuerfesten Schrank erlaubt die Unterbringung in beliebigen Umgebungen nah am Verbrauchersystem.
- Precursor Versorgung mit Reinheit bis 100%
- Application-oriented and tailor-made
- Continuous supply thanks to multiple containers
- Automatic container changeover
- Permanently technically leak-proof
- System G504-100 for one precursor evaporator
- System G504-200 for two precursor evaporators
- 8 weeks delivery time
- Wählen Sie unsere Standardsysteme für einen oder zwei Behälter
- Aufstellung direkt im Labor dank belüftetem Sicherheitsschrank Typ 90
Precursor Versorgungssystem
G504-100
für einen Precursor
For less complex systems and processes, our compact refill system offers an efficient, space-saving and cost-effective solution. Here, too, it is possible to ensure a continuous supply of precursor by using two containers.
- High purity thanks to UHP components
- Can be customised to suit customer requirements
- Integrated rinse routines for safe and long-lasting operation
- Permanently technically leak-proof thanks to faceseal technology
- Price on request
- Approx. 10 weeks delivery time
- Installation directly in the laboratory thanks to Type 90 safety cabinet
Our G504-010 precursor refill system allows the container to be placed directly on a set of scales, so that the fill level can always be monitored. The fluidic system enables the refill lines to be flushed, thereby protecting the user and the system from reactive vapours during operation and maintenance.
Technische Daten Precursor Versorgungssystem G504-100 für einen Precurser
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Merkmal
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Daten System G504-100 für einen Precurser Verdampfer
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Dimensionen H; B; T (mm)
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1900; 600; 600
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Lieferrate
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150-200 ml/min
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Temperaturbereich (Betrieb oder Precursor Temp)
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20-75 °C
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Capacity
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xx l
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Precursor Chemikalien
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Siliciumtetrachlorid (SiCl4), Titan(IV)-chlorid (TiCl4), Trichlorsilan (HSiCl3), Hexamethyldisiloxan HMDSO (C6H18OSi2), Trimethylaluminium TMA (C3H9Al), Diethylzink DEZ (C4H10Zn)
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Anschluss an eine N2 Spülleitung notwendig
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100 Nl/h und 2 bar ü
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Compressed air supply
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6 bar ü
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Supply voltage
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230 V
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Gehäuseabsaugung
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5 m³/h
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Ex-Schutz Klasse
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Content
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Dauerhaft technisch dicht dank Edelstahl-Verrohrung
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Typ 90 Sicherheitsschrank
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Eingangsfilter für N2
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Mit Umspülfunktion für den sicheren Gebindewechsel
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Precursor Versorgungssystem G504-200 für zwei Precursor
Unser Precursor Nachfüllsystem kann gleichzeitig mehrere Prozesskammern oder Einspeisepunkte versorgen. Dies geschieht entweder über parallele Leitungen oder über Verteilpunkte innerhalb einer Anlage. Das spart Bauraum und Komponenten, bei gleichzeitiger Steigerung der Prozesssicherheit. In dieser Konfiguration werden mehrere Gebinde empfohlen.
- Supply to one system comprising several precursor containers
- High purity thanks to UHP components
- Can be customised to suit customer requirements
- Integrated rinse routines for safe and long-lasting operation
- Various precursor chemicals possible thanks to independent lines
- Continuous supply thanks to multiple containers
- Automatic container changeover
- Permanently technically leak-proof thanks to faceseal technology
- Price on request
- Approx. 10 weeks delivery time
- Installation directly in the laboratory thanks to Type 90 safety cabinet
Unser Precursor Versorgungssystem G504-200 ist in einem feuerfesten Schrank F90 aufgebaut und erlaubt damit die Aufstellung im Labor. Das System kann ein System mit zwei Precursorn versorgen.
Technische Daten Precursor Versorgungssystem G504-200 für zwei Precursor
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Merkmal
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Daten System G504-200 für zwei Precurser Verdampfer
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Dimensionen H; B; T (mm)
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1900; 600; 600
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Lieferrate
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150-200 ml/min
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Temperaturbereich (Betrieb oder Precursor Temp)
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20-75 °C
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Capacity
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xx l
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Precursor Chemikalien
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Siliciumtetrachlorid (SiCl4), Titan(IV)-chlorid (TiCl4), Trichlorsilan (HSiCl3), Hexamethyldisiloxan HMDSO (C6H18OSi2), Trimethylaluminium TMA (C3H9Al), Diethylzink DEZ (C4H10Zn)
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Anschluss an eine N2 Spülleitung notwendig
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100 Nl/h und 2 bar ü
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Compressed air supply
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6 bar ü
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Supply voltage
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230 V
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Gehäuseabsaugung
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5 m³/h
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Ex-Schutz Klasse
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Content
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Dauerhaft technisch dicht dank Edelstahl-Verrohrung
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Typ 90 Sicherheitsschrank
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Eingangsfilter für N2
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Mit Umspülfunktion für den sicheren Gebindewechsel
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Technical description
Precursor Versorgungssysteme dienen der sicheren Versorgung von Verbrauchern wie CVD / PECVD / ALD Verdampfersystemen oder Flüssigdosiersystemen, mit den dort eingesetzten flüssigen Chemikalien. Diese sind Silane, Chloride und Metallalkyle wie SiCl4, TiCl4, SiHCl3, HMDSO, DEZ oder TMA . Die Auslegung des Systems erfolgt anwendungsspezifisch und kann jeweils den besonderen Erfordernissen jeder Applikation angepasst werden.
The supply system can be designed for a single container or, to ensure an uninterrupted supply, equipped to handle two containers. Automatic switchover occurs as soon as the first container is empty.
The transport vessel is installed in a cabinet and securely connected to the pipework there. The system’s valves are pneumatically operated and controlled by an automatic sequence controller.
Wurde ein neues Transportgefäß eingebaut, so werden zunächst die Anschlussleitungen unter Druck gesetzt und einem Druckhaltetest unterzogen um den sicheren Anschluss des Gebindes zu bestätigen. Nachdem dieser Test bestanden wurde werden die Anschlussleitungen durch eine automatisierte Druckwechselspülung freigespült (Beaufschlagen der Leitungen mit N2 und anschießendes Evakuieren im Wechsel). Um das Freispülen zu erleichtern werden Membranventile eingesetzt. Danach erfolgt die Freigabe des neuen Fasses zur Versorgung der angeschlossenen Verbraucher.
Once a new transport vessel has been installed, the connecting pipes are first pressurised and subjected to a pressure retention test to confirm that the vessel is securely connected. Once this test has been passed, the connecting pipes are purged by means of an automated pressure-switch flushing process (alternately pressurising the pipes with N₂ and then evacuating them). Diaphragm valves are used to facilitate the purging process. The new drum is then authorised to supply the connected consumers.
During the automatic rinsing sequences carried out when changing drums, the manual valves on the transport vessel must be opened and closed. The operator receives instructions to do so from the control unit.
The transport vessel is placed on a set of scales, so that the remaining contents can always be displayed. If the vessel is almost empty, the operator is warned; when the lowest fill mark is reached, a further message is displayed; in systems with two transport vessels, the system automatically switches to the vessel on standby.
A sheet steel housing or a Type 90 safety cabinet (90-minute fire resistance) can be used as the housing for the refilling system. This allows the system to be installed directly in laboratories and workrooms. The cabinets are connected to the extraction system and can be supplied with fresh air as required. To further enhance safety, the supply system can be fitted with a smoke detector or a gas detection sensor, depending on the precursor used.
- Metallic seals and leak-proof: No elastomers in the steam path; orbitally welded stainless steel components (SS316L).
- The Type 90 safety cabinet stores hazardous substances and, in the event of a fire, provides 90 minutes’ protection against the ingress of flames. This means that a Type 90 safety cabinet may be installed directly at the workplace.
- Reduced installation effort: Supplying multiple process points from a single evaporator saves on components, valves, control systems and space.
