Precursor Verdampfersysteme

Die SIGA Verdampfersysteme dienen zur präzisen Bereitstellung von Gasphasen von Precursorn für CVD und PECVD Abscheideprozesse. Die Verdampfung und Dosierung erfolgt über ein System zum direkten Verdampfen und Dosieren. SIGA bietet Systeme unter Nutzung jeglicher Technologie mit oder ohne Trägergas an. Eine unserer großen Stärken sind aber trägergasfreie Systeme.