Precursor Verdampfersysteme
Die SIGA Verdampfersysteme dienen zur präzisen Bereitstellung von Gasphasen von Precursorn für CVD und PECVD Abscheideprozesse. Die Verdampfung und Dosierung erfolgt über ein System zum direkten Verdampfen und Dosieren. SIGA bietet Systeme unter Nutzung jeglicher Technologie mit oder ohne Trägergas an. Eine unserer großen Stärken sind aber trägergasfreie Systeme.
Precursor Versorgungssysteme – Plattform G504
Diese Versorgungssysteme dienen der sicheren Versorgung von Flüssigdosiersystemen oder Verdampfersystemen mit flüssigen Chemikalien wie Silanen, Chloriden und Metallalkylen wie SiCl4, TiCl4, SiHCl3, HMDSO, DEZ oder TMA.
Aktivkohlefilter Beladestationen – Plattform G306 und G517
Konditioniersystem / Beladestation mit Butan oder Benzin. Die in einem Kraftfahrzeug (KFZ) mit Benzinverbrennungsmotor eingesetzten Aktivkohlefilter werden entsprechend den US-Regelwerken CARB und EPA und der EC-Norm 98/69/EC beladen und gespült.
Gasmischanlagen, Gasdosier- und Gasmischsysteme – zuverlässig und sicher
SIGA-Gasmischsysteme ermöglichen die präzise Mischung technischer Gase für industrielle Prozesse – flexibel konfigurierbar, exakt regelbar und prozesssicher.
Wir stellen individuelle Systeme zusammen basierend etablierten Komponenten und sorgen für das richtige Sicherheitskonzept.
Sonderlösungen, Prüfstände und Kooperationen
Abhängig von Kundenwünschen entwickeln und fertigen wir auch Sonderanlagen, rund um Gasversorgung, Gasmischung und Verdampfungsprozesse.
Systeme für die Forschung
Für und mit nationalen und internationalen Forschungseinrichtungen entwickeln wir Spezialsysteme die schon heute die Technologien von morgen erforschen.