Produkte
Unsere Produkte – für anspruchsvolle Prozesse
SIGA liefert maßgeschneiderte Systeme zur Verdampfung und Versorgung von Precursoren, Gasdosierung und vielem mehr – präzise, sicher und auf Ihre Prozesse abgestimmt. Ob für die Produktion oder fürs Labor. Alle Produkte werden nach kundenspezifischen Anforderungen entwickelt und fachgerecht gefertigt.
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- Precursor Verdampfer
Die SIGA Verdampfersysteme dienen zur präzisen Bereitstellung von Gasphasen von Precursorn für CVD und PECVD Abscheideprozesse. Die Verdampfung und Dosierung erfolgt über ein System zum direkten Verdampfen und Dosieren. SIGA bietet Systeme unter Nutzung jeglicher Technologie mit oder ohne Trägergas an. Eine unserer großen Stärken sind aber trägergasfreie Systeme.
Diese Versorgungssysteme dienen der sicheren Versorgung von Flüssigdosiersystemen oder Verdampfersystemen mit flüssigen Chemikalien wie Silanen, Chloriden und Metallalkylen wie SiCl4, TiCl4, SiHCl3, HMDSO, DEZ oder TMA.
Konditioniersystem / Beladestation mit Butan oder Benzin. Die in einem Kraftfahrzeug (KFZ) mit Benzinverbrennungsmotor eingesetzten Aktivkohlefilter werden entsprechend den US-Regelwerken CARB und EPA und der EC-Norm 98/69/EC beladen und gespült.
SIGA-Gasmischsysteme ermöglichen die präzise Mischung technischer Gase für industrielle Prozesse – flexibel konfigurierbar, exakt regelbar und prozesssicher. Wir stellen individuelle Systeme zusammen basierend etablierten Komponenten und sorgen für das richtige Sicherheitskonzept.
Abhängig von Kundenwünschen entwickeln und fertigen wir auch Sonderanlagen, rund um Gasversorgung, Gasmischung und Verdampfungsprozesse.
Für und mit nationalen und internationalen Forschungseinrichtungen entwickeln wir Spezialsysteme die schon heute die Technologien von morgen erforschen.