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Verdampfer für einen Precursor

Verdampfersystem für HMDSO. Es werden 3 Linien aus einem Verdampfer versorgt. Die Nachrüstung von 3 weiteren Linien ist vorbereitet.
Galerie Verdampfer für einen Precursor (zum Öffnen bitte anklicken)
Verdampfersystem für HMDSO Prozessbild der Steuerung des Verdampfersystems Verdampfersystem für Wasser. Aus einem Verdampfer werden 5 Linien versorgt. Verdampfersystem für 1 Precursor mit Steuerung Steuerung eines Verdampfersystems – Innenansicht. Bedientableau eines Verdampfersystems. Die Steuerung und Überwachung der Verdampfung erfolgt über eine freiprogrammierbare Steuerung. Verdampfersystem für GECl4 mit 2 Dosierstrecken aus einem Verdampfer Verdampfersystem für MTCS: Verdampfung, Dosierung und autarke Steuerung Verdampfersystem für Wasser mit Durchflussregelung Gasdosierung für Wasserdampf – Modul mit einem MFC Durchflussregler Steuerung eines Verdampfersystems für 1 Precursor mit programmierbarer Steuerung. Steuerung eines Verdampfersystems für HMDSO Verdampfersystem für HMDSO

Die Medien die bei einem CVD Prozess zum Einsatz kommen liegen häufig als Gas vor und können somit einfach über Durchflussregler dosiert werden. Für die Abscheidung bestimmter Schichten liegt das zur Abscheidung erforderlich Element als Flüssigkeit vor. Hier kommen Verdampfersysteme für einen Precursor zum Einsatz.

Zu den besonderen Merkmalen der Verdampfersysteme gehört neben der Möglichkeit der Verdampfung ohne Trägergas die Möglichkeit aus einem Verdampfer mehrere Verbraucher zu versorgen. Es können entweder mehrere Prozesskammern gleichzeitig versorgt werden oder an einer Prozesskammer an verschiedenen Punkten Precursor-Dampf eingespeist werden. Eine weitere Option ist die Integration von 2 Verdampfern in einem System mit einer gemeinsamen Steuerung.

Die Möglichkeit aus 1 Verdampfer mehrere Verbraucher zur versorgen bietet gegenüber anderen Konstruktionen die Möglichkeit zum Einsparen von Bauteilen, Steuerungselementen und Montageraum. In der Summe kann man damit die Kosten senken.