Flüssigdosierung mit anschließender Verdampfung
![System zur Bevorratung von 2 Precursor für Flüssigdosierung mit nachfolgender Verdampfung.](images/Verdampfer/29V121-005.jpg)
Eine Alternative zur Verdampfung mit anschließender Dampfdosierung besteht in der Flüssigkeitsdosierung mit anschließender Verdampfung des Precursors. In der Regel ist hier dann ein Gas als Trägergas nötig.