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Flüssigdosierung mit anschließender Verdampfung

System zur Bevorratung von 2 Precursor für Flüssigdosierung mit nachfolgender Verdampfung.
Galerie Flüssigdosierung mit anschließender Verdampfung (zum Öffnen bitte anklicken)
System zur Flüssigdosierung für HMDSO mit nachfolgender Verdampfung – ohne Trägergas System zur Flüssigdosierung für TTIP mit nachfolgender Verdampfung – mit Trägergas

Eine Alternative zur Verdampfung mit anschließender Dampfdosierung besteht in der Flüssigkeitsdosierung mit anschließender Verdampfung des Precursors. In der Regel ist hier dann ein Gas als Trägergas nötig.