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Precursor Verdampfersysteme, Precursor Versorgungssysteme, Gasdosiersysteme, Gasmischer, Brennersysteme Aktivkohlefilter-Konditioniersysteme, von SIGA

Precursor Verdampfer Versorgungssysteme
Gasmischsysteme Reinstgassysteme
AKF Beladestationen Brenner-5g566-1
Precursor Verdampfer

Versorgungssysteme

Gasmischsysteme

Reinstgassysteme

AKF Beladestationen

Brenner-5g566-1

SIGA entwickelt und baut kundenspezifische Systeme zum Messen, Regeln und Steuern von Gasflüssen und zum Verdampfen und Dosieren flüssiger Precusor ergänzt von Precursor Versorgungssystemen. Mit unseren Gassystemen können Sie ein Gas oder viele Gase oder Precursor dosieren und diese einer oder mehreren Gebrauchsstellen zuführen. Ergänzt werden die Systeme von einer rechnergestützten Steuerung mit Hard- und Software.
Die Auslegung erfolgt nach Ihren Wünschen auf der Grundlage unserer Erfahrung.
Zum Einsatz kommen Massenflussregler MFCs, Ventile, Filter, Drucksensoren, Temperaturfühler, etc. Anwendungsgebiet ist überall dort wo Gase in Fertigungsprozessen eingesetzt werden, z.B. zum Abscheiden dünner Schichten CVD.

Zertifikat DIN EN ISO 9001

Systeme von SIGA