Gase und Dämpfe steuern, dosieren, regeln und mischen

 Systeme für CVD und Plasmareaktoren (Halbleiter und optische Industrie) 
 
 

Gaskabinette für Diffusionsöfen (Halbleiterindustrie)
 
 

Retrofitsysteme für Epitaxireaktoren (Halbleiterindustrie)